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Z軸伺服模組+高精度微型直線電機模組電機,重復定位精度±1μm;懸臂直線電機可搭載各類測頭,直線不同位置檢測;配套集成軟件,滿足運動執(zhí)行、數(shù)據記錄等功能。...
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