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XY位移臺

產(chǎn)品特點:實現(xiàn)納米級定位、最小步距可達10nm 無回程間隙響應頻率快,穩(wěn)定漂移小...


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產(chǎn)品介紹


產(chǎn)品特點:

  • 實現(xiàn)納米級定位、最小步距可達10nm                      

  • 無回程間隙 

  • 響應頻率快,穩(wěn)定漂移小                                         

  • 無磁無油結構,不受磁場干擾

  • 可實現(xiàn)在10-5pa環(huán)境                                               

  • 負載能力強,行程大。 

  • 結構穩(wěn)定靠,緊湊小巧                                           

  •  重讀定位精度最高±50nm

  • 斷電自鎖、運行熱量低                                             

  • 所有型號可支持客戶定制開發(fā)

規(guī)格型號:  

型號

LWF-XY

LWF-XY150

LWF-XYXW

電機類型

壓電馬達

行程(mm

20*20 、50*50 、75*75 105*105

150*150

110*75  75*75  105*105

最大負載(kg

10

最大速度(mm/S

50

最小步距(nm)

50

重復定位精度(nm

±200(全行程)

位置反饋

光柵尺

基體材質

鋁合金

基體重量(kg

2-5

10

3


溫馨提示:以上產(chǎn)品可定制,由于可選型號太多,如需詳細參數(shù)資料,請與我們聯(lián)系咨詢。