產(chǎn)品特點:
實現(xiàn)納米級定位、最小步距可達10nm
無回程間隙
響應頻率快,穩(wěn)定漂移小
無磁無油結構,不受磁場干擾
可實現(xiàn)在10-5pa環(huán)境
負載能力強,行程大。
結構穩(wěn)定靠,緊湊小巧
重讀定位精度最高±50nm
斷電自鎖、運行熱量低
所有型號可支持客戶定制開發(fā)
規(guī)格型號:
型號 | LWF-XY | LWF-XY150 | LWF-XYXW |
電機類型 | 壓電馬達 | ||
行程(mm) | 20*20 、50*50 、75*75 105*105 | 150*150 | 110*75 75*75 105*105 |
最大負載(kg) | 10 | ||
最大速度(mm/S) | 50 | ||
最小步距(nm) | 50 | ||
重復定位精度(nm) | ±200(全行程) | ||
位置反饋 | 光柵尺 | ||
基體材質 | 鋁合金 | ||
基體重量(kg) | 2-5 | 10 | 3 |
溫馨提示:以上產(chǎn)品可定制,由于可選型號太多,如需詳細參數(shù)資料,請與我們聯(lián)系咨詢。