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產品特點：
實現(xiàn)納米級定位、最小步距可達10nm
無回程間隙
響應頻率快，穩(wěn)定漂移小
無磁無油結構，不受磁場干擾
可實現(xiàn)在10-5pa環(huán)境
負載能力強，行程大。
結構穩(wěn)定靠，緊湊小巧
重讀定位精度最高±50nm
斷電自鎖、運行熱量低
所有型號可支持客戶定制開發(fā)
規(guī)格型號：
| 型號 | LWF-C200 | LWF-C90 | LWF-C50 | LWF-C20 | LWF-C10 | LWF-C05 |
電機類型 | 壓電馬達 | |||||
行程（mm） | 200/150/120 | 90/80/70/60 | 50/40/30 | 20 /18/15 | 10/5 | 5/3 |
| 最大負載（kg） | 20 | 20 | 10 | 5 | 2 | 1 |
最大速度（mm/S） | 50 | 100 | 100 | 100 | 50 | 50 |
最小步距(nm) | 100 | 50（最大） | ||||
重復定位精度（nm） | ±200（全行程） | ±200（全行程） | ±200 | ±200 | ±200（全行程） | ±200（全行程） |
位置反饋 | 光柵尺 | |||||
基體材質 | 鋁合金 | |||||
基體重量（kg） | 10 | 5 | 4 | 3 | 1 | 1 |
溫馨提示：以上產品可定制，由于可選型號太多，如需詳細參數資料，請與我們聯(lián)系咨詢。
