全國(guó)服務(wù)熱線
產(chǎn)品特點(diǎn)：
實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位、最小步距可達(dá)10nm
無(wú)回程間隙
響應(yīng)頻率快，穩(wěn)定漂移小
無(wú)磁無(wú)油結(jié)構(gòu)，不受磁場(chǎng)干擾
可實(shí)現(xiàn)在10-5pa環(huán)境
負(fù)載能力強(qiáng)，行程大。
結(jié)構(gòu)穩(wěn)定靠，緊湊小巧
重讀定位精度最高±50nm
斷電自鎖、運(yùn)行熱量低
所有型號(hào)可支持客戶定制開(kāi)發(fā)
規(guī)格型號(hào)：
型號(hào) | LWF-Z-70 | LWF-Z-18 |
電機(jī)類型 | 壓電馬達(dá) | 壓電馬達(dá) |
行程（mm） | 5、10、30、50、70 | 5、 10、18 |
最大負(fù)載（kg） | 5 、10 | 1、3 |
最大速度（mm/S） | 100 | 100 |
最小步距(nm) | 150 | 150 |
重復(fù)定位精度(nm) | ±500 | ±500 |
真空兼容性pa | 10-5pa | 10-5pa |
位置反饋 | 感柵 | 感柵 |
基體材質(zhì) | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
基體重量（kg） | 2.5 | 0.5 |
溫馨提示：以上產(chǎn)品可定制，由于可選型號(hào)太多，如需詳細(xì)參數(shù)資料，請(qǐng)與我們聯(lián)系咨詢。
