產(chǎn)品特點(diǎn)：? 簡潔緊湊型設(shè)計(jì)，壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，斷電自鎖，節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生。? 光柵反饋，分辨率可選，最小步進(jìn)可達(dá)10nm，重復(fù)定位精度可達(dá)+/-50nm。? 可應(yīng)用于光學(xué)組裝，微納加工，激光，自動(dòng)化等領(lǐng)域。X軸75毫米和Y軸50毫米行程規(guī)格參數(shù)：X軸110毫米和Y軸75毫米行程規(guī)格參數(shù)：...
產(chǎn)品特點(diǎn)：
? 簡潔緊湊型設(shè)計(jì)，壓電馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，斷電自鎖，節(jié)約能量，減少熱量產(chǎn)生。
? 光柵反饋，分辨率可選，最小步進(jìn)可達(dá)10nm，重復(fù)定位精度可達(dá)+/-50nm。
? 可應(yīng)用于光學(xué)組裝，微納加工，激光，自動(dòng)化等領(lǐng)域。
X軸75毫米和Y軸50毫米行程規(guī)格參數(shù)：
X軸110毫米和Y軸75毫米行程規(guī)格參數(shù)：
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